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化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究銅作為新的互連材料被引入集成電路的制造之后,以及大馬士革工藝的采用,帶來了新的工藝挑戰(zhàn)。銅在化學機械研磨面臨的銅腐蝕問題使得產(chǎn)品良率和可靠性都受到威脅。本文

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